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PECVD/CVD/PVD

   美国Proto Flex公司PECVD(等离子加强化学气相堆积)体系可以堆积下质量SiN、SiO、SiO2薄膜、Si3N4薄膜、非晶硅、碳化硅、太阳能质料、类金刚石、类金刚石薄膜、硬质薄膜、光学薄膜等多种薄膜质料和冰纳米管(CNT)等。可选用射频(RF)、空阴极高密度等离子体(HCD)源、感到耦合等离子体(ICP)源。该公司接纳先进技术和波动靠得住的计划为您供给多方位的办事。

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