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化学气相堆积

    Epiluvac供给了一种共同的办法,用于正在较宽的温度范围内培养单晶锗锡硅碳合金的发展,包罗选择性和非选择性两种发展。
    经过接纳进步前辈的应变工程办法,我们有能力培养(单轴或单轴)拉伸应变和紧缩应变层和无应变锗锡硅碳层。

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